Horiba Scientific startet neues Uvisel Plus-Ellipsometer

Horiba Scientific hat die Einführung eines neuen modularen Ellipsometers, Uvisel Plus, angekündigt, das für eine verbesserte Flexibilität bei Dünnfilmmessungen entwickelt wurde.

Das Gerät verfügt über eine hochmoderne FastAcq-Erfassungstechnologie, die eine neue elektronische Datenverarbeitung und einen Hochgeschwindigkeits-Monochromator einsetzt, um eine hochauflösende Messung von 190 bis 2100nm innerhalb von drei Minuten zu ermöglichen.

Ein weiteres Schlüsselelement des Entwurfs ist die Tatsache, dass es keine rotierenden Elemente oder zusätzliche Komponenten im optischen Pfad enthält und so die reine und effiziente Polarisationsmodulation für genaue ellipsometrische Parametermessungen liefert.

Uvisel Plus bietet Mikrospots für gemusterte Proben bis zu 50 Mikrometer, variable Winkel von 40 bis 90 Grad, eine automatische horizontale Mapping-Bühne und Zubehör für eine Vielzahl von Anwendungen und Haushaltsbedürfnisse zu erfüllen.

Das Unternehmen sagte: "Die Uvisel Plus und ihre FastAcq-Technologie sind das vielseitigste spektroskopische Ellipsometer für Dünnschichtdicken und optische Konstantmessungen in den Bereichen Materialforschung und -verarbeitung, Flachbildschirme, Mikroelektronik und Photovoltaik."

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