Metrios AX dévoilé par Thermo Fisher Scientific.

Lors de la conférence ISTFA 2019, Thermo Fisher Scientific a dévoilé le «Thermo Scientific Metrios AX», le premier S / TEM à automatiser la collecte de données de haute qualité grâce à l'apprentissage automatique. Metrios AX est uniquement conçu pour l’industrie des semi-conducteurs et permet aux opérateurs de laboratoire de générer rapidement des données précises. L'apprentissage automatique a été implémenté dans le logiciel S / TEM, ce qui a permis une utilisation plus constructive du microscope en raison de la réduction du temps requis pour développer des recettes automatisées. De plus, les laboratoires de semi-conducteurs sont capables de mesurer et d’obtenir des dimensions sur leurs dispositifs lors de la fabrication et du développement. Obtenir des images à résolution angulaire inférieure avec un contraste plus élevé, automatiser les tâches répétitives et maintenir le microscope aligné pour des performances optimales est plus simple et moins coûteux par échantillon que les S / TEM traditionnels en raison de la construction du Metrios AX sur la plate-forme Spectra de Thermo Fisher. Glyn Davies, vice-président et directeur général des semi-conducteurs chez Thermo Fisher, a déclaré: "Le Metrios AX a été spécialement conçu pour améliorer l'analyse des défaillances, la qualification des processus et la métrologie en aidant les laboratoires de semi-conducteurs à créer facilement des flux de travail automatisés qui améliorent la productivité. Cette solution innovante S / TEM élimine les obstacles à l'automatisation en donnant aux fabricants de semi-conducteurs un accès rapide aux données fiables dont ils ont besoin pour prendre rapidement des décisions éclairées. "