Metrios AX von Thermo Fisher Scientific vorgestellt.

Auf der ISTFA 2019 stellte Thermo Fisher Scientific das „Thermo Scientific Metrios AX“ vor, das erste S / TEM, das die hochqualitative Datenerfassung durch maschinelles Lernen automatisiert. Das Metrios AX wurde ausschließlich für die Halbleiterindustrie entwickelt und ermöglicht es den Laborbetreibern, präzise und genaue Daten in einem schnellen Tempo zu generieren. Maschinelles Lernen wurde in das S / TEM implementiert, wodurch das Mikroskop konstruktiver eingesetzt werden konnte, da weniger Zeit für die Entwicklung automatisierter Rezepte erforderlich war. Darüber hinaus können Halbleiterlabors während der Herstellung und Entwicklung die Abmessungen ihrer Geräte messen und ermitteln. Bilder mit einer Auflösung unter Angström mit höherem Kontrast zu erhalten, sich wiederholende Jobs zu automatisieren und das Mikroskop auf Spitzenleistung auszurichten, ist pro Probe einfacher und billiger als herkömmliche S / TEMs, da der Metrios AX auf der Thermo Fisher Spectra-Plattform basiert. Der Vice President und General Manager von Semiconductor bei Thermo Fisher, Glyn Davies, erklärte: "Das Metrios AX wurde speziell zur Verbesserung der Fehleranalyse, Prozessqualifizierung und Metrologie entwickelt, indem es Halbleiterlabors dabei hilft, automatisierte Workflows zu erstellen, die die Produktivität verbessern. Dieses innovative S / TEM beseitigt die Hindernisse für die Automatisierung und gibt Halbleiterherstellern schnellen Zugriff auf die vertrauenswürdigen Daten, die sie benötigen, damit sie schnell fundierte Entscheidungen treffen können. "