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Thermo Fisher bringt auf der Analytica 2018 fünf neue Produkte auf den Markt

10th April 2018

Thermo Fisher Scientific bringt auf der Analytica 2018 fünf neue Lösungen für Instrumentierung, Datenmanagement, Probenvorbereitung und Verbrauchsmaterialien auf den Markt. Halbleiterwafer-Fabrikationsanlagen und Hersteller ultrahochreiner Chemikalien können nun ihre Spurenelemente in anspruchsvollen Probenmatrizen mit einem neuen Tripel verstärken Quadrupol-induktiv gekoppeltes Plasma-Massenspektrometer (ICP-MS), das eine Unter-Teile-pro-Billion-Detektion bietet, wodurch es eine ideale Lösung für ultrareine Anwendungen ist. Dieses innovative System wurde für eine herausragende Produktivität mit minimalen Fehlern entwickelt, um eine konsistente Leistung und zuverlässige Daten für die routinemäßige Inspektion von hochreinen Chemikalien und die Qualitätskontrolle im Waferherstellungsprozess zu gewährleisten. Das erweiterte Thermo Scientific iCAP TQs ICP-MS-System, das im Februar 2018 vorgestellt wurde, ist auf der Analytica 2018 (Messe München, Stand 101, Halle B1) in München zu sehen. "Es besteht ein wachsender Bedarf, die Grenzen der Detektion zu verschieben, insbesondere in der Halbleiterindustrie und verwandten industriellen Anwendungen", sagte Miguel Faustino, Senior Director und General Manager, Spurenelementanalyse, Chromatographie und Massenspektrometrie, Thermo Fisher Scientific. "Unser verbessertes iCAP TQs ICP-MS wird Kunden in die Lage versetzen, die Qualitätskontrolle im Wafer-Herstellungsprozess sicherzustellen und letztendlich den Halbleiter-Wafer-Ertrag zu verbessern." Die iCAP TQs ICP-MS behält alle Vorteile der Größe und Benutzerfreundlichkeit durch optimierte Workflows der bestehenden Produktlinie und bietet gleichzeitig verbesserte Datenqualität und Leistung durch eine Kombination aus Kaltplasma-Betrieb und starker Dreifach-Quadrupol-Interferenzentfernung. In Kombination mit der Intelligent Scientific Data Software von Thermo Scientific Qtegra, einer intuitiven Benutzeroberfläche und dem Reaction Finder können Fertigungseinrichtungen die zeitraubende Methodenentwicklung reduzieren und produktiver und schneller werden. Das System erfordert nur minimale Benutzerwartung und umfasst ein vollständig inertes Probeneinführungssystem, eine Trockenpumpe für Reinraumumgebungen und eine spezielle Gasverteilungseinheit für Laborsicherheit und maximale Flexibilität. Ein ergonomisches Benchtop-Design mit einer kompakten Grundfläche begrenzt die Nutzung von wertvollem Laborraum und erleichtert die Integration mit speziell entwickelten Peripheriegeräten für die Inline-Überwachung von Prozesschemikalien oder für die Dampfphasenabscheidung (VPD).

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