Thermo Fisher installiert Optis FIB-SEM bei Chipherstellern

Thermo Fisher Scientific hat mehrere Installationen seines Thermo Scientific Optis Focused Ion Beam-Scanning Electron Microscope (FIB-SEM) bei führenden Chipherstellern abgeschlossen und baut damit seine Lab-to-Fab-Automatisierungsstrategie im Halbleiterbereich weiter aus. Wie am 10. November 2026 bekannt gegeben, folgen die Installationen auf eine Phase von Feldtests, in der Kundenfeedback zu Systemverbesserungen beigetragen hat. Optis ist für fortgeschrittene Logik (einschließlich Gate-All-Around und CFET) sowie fortgeschrittene Speicherbausteine positioniert, bei denen die Lamellenpräparation deutlich engere Toleranzen erfordert.

Optis ist ein automatisiertes, waferbasiertes System zur TEM-Probenpräparation, das Lamellendicken von bis zu 20 nm bei Logikbausteinen und 15 nm bei Speicherbausteinen sowie eine Lamellenplatzierungsgenauigkeit von 2 nm (2σ) ermöglicht. Das System automatisiert die Handhabung von Wafern und Probengrids, die Präparationsschritte sowie den Informationsfluss, einschließlich der finalen Lamellendünnung und der Grid-Übergabe an das TEM, mit KI-gestütztem Endpointing und Automatisierung für Anwendungen mit hohem Durchsatz und geringer Variantenvielfalt. Die Wafer-Rückführung wird unterstützt, sofern die Partikelleistungsanforderungen erfüllt sind, was die Fab-Integration wirtschaftlich zusätzlich stärkt. Mohan Iyer, Vice President und General Manager Semiconductor bei Thermo Fisher Scientific, ordnete Optis als System ein, das für die nächste Ära der Bausteinskalierung entwickelt wurde. Die Plattform erweitert die Vulcan-Automated-Lab-Initiative von Thermo Fisher, die den Workflow von Wafer bis TEM-Ergebnis abdeckt, und baut auf der bestehenden Erfahrung des Unternehmens mit waferbasierten FIB-SEM-Systemen sowie dem globalen Serviceangebot auf.

Die kommerzielle Chance stützt sich auf erheblichen Druck in der fortgeschrittenen Halbleiterfertigung, in der schrumpfende Bauteilgeometrien, die Einführung von Gate-All-Around-Architekturen und die CFET-Entwicklung immer engere Lamellenpräparationstoleranzen und eine Reduzierung der operatorbedingten Variabilität erfordern. Die Automatisierung reduziert manuelle Schritte und das Risiko der Probenhandhabung, was direkt zur Ausbeuteverbesserung und zur Verkürzung der Fab-Zykluszeiten beiträgt. Die Optis-Installationen stärken Thermo Fishers breiteres Franchise für analytische Instrumente, das im dritten Quartal 2026 einen Umsatz von 2,00 Milliarden US-Dollar (plus ca. 6 Prozent) bei einer Segmentmarge von 26,9 Prozent erzielte, wobei die Halbleitersparte das kontinuierliche Portfoliowachstum stützt. Konkrete Kundennamen und Installationszahlen wurden nicht offengelegt, auch Preise oder Verfügbarkeitstermine nicht; Thermo Fisher berichtet jedoch über eine deutliche Industrieadoption bei führenden Chipherstellern.

Das kommerzielle Signal ist eine reifende Kategorie der FIB-SEM-Automatisierung im Halbleiterbereich, in der die Lab-to-Fab-Workflow-Integration, Lamellendicken unter 20 nm und KI-gestütztes Endpointing die Ökonomie von Metrologie und Fehleranalyse in der fortgeschrittenen Logik- und Speicherfertigung neu gestalten. Die anhaltende Skalierung von Gate-All-Around und CFET stützt die kurz- bis mittelfristige Nachfrage. Zu erwarten sind weiterhin anhaltende Investitionen in die Halbleiter-Metrologieautomatisierung sowie eine fortgesetzte kommerzielle Dynamik bei Thermo Fisher im weiteren Verlauf von 2027.

Wenn Sie die neuesten Updates und detaillierte Einblicke in die Welt des Service-Engineerings, einschließlich bahnbrechender Behandlungen, Branchentrends und regulatorischer Neuigkeiten, erhalten möchten, kontaktieren Sie Eddie Baxter noch heute!